设备展示
クリーンルームとは?
空気中の汚染物質(例えば浮遊微小粒子や浮遊微生物)が指定された清浄度レベル以下にシステム管理され、空気汚染の制御が実施される空間のことです。空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力、微量ガス成分、静電気、微振動、電磁波などの環境条件についても管理が行われている空間をさします。
クリーンルームには「どのくらいクリーンな環境なのか」ということが基準になる「クラス」というレベル設定があり、JIS規格・ISO規格では浮遊する塵埃でクリーンルームのクラスが決められています。
製造する製品、工程により必要とされる空気清浄度クラスが決まり、空間に存在する粒子数は、「パーティクルカウンター」と呼ばれる測定器で測定します。
例として、通常のクリーンルーム化されていない工場はクラス10,000,000以上といわれます。普段仕事を行うオフィス環境はきれいと感じていても、空気中には多数の浮遊物があり実はクラス1,000,000以上です。澄み切った空気でキレイと感じる海上や森林でクラス10,000~100,000といわれています。
弊社ではクリーンルーム内に外から塵が入らないようにするため、空気の入り口に高性能フィルタを設置し侵入を防ぎます。
クリーンルーム内は陽圧になっており隙間があれば空気は中に入らず外に出る仕組みです。室内ユニットに特殊フィルター「HEPA」を利用し、フィルターを通った空気が常に室内に入ってくるよう空調管理されています。
人の出入り口は二重扉になり、エアシャワーを設置しホコリや粉塵などで万が一にも空気汚染が発生しないようになっています。
また、クリーンルーム内で作業する従業員はルーム内を汚染しないよう専用の作業服を着用します。
さらに、クリーンルーム内に存在する粒子数を測定するパーティクルカウンターを配備し、常時監視することで規定のクリーンルーム清浄度を保持します。